1、晶体原材料内部质量检测
2、晶体定向确认
3、切割
4、研磨
5、粘接至加工工具
6、抛光（手工抛光）
抛光车间
7、在线平整度检测
8、镀膜
9、检测
表面质量检测
平整度与平行度检测（Zygo干涉仪）
镀膜光谱测试
激光损伤阈值测试