MgF2（氟化镁）光学和晶体

Shalom EO 提供多种类型和等级的氟化镁光学器件和晶体：

氟化镁，化学式为MgF2，属金红石型结构，具有优异的综合光学和机械性能。MgF2晶体的透射波长范围为0.12μm至7.5μm，涵盖真空紫外（VUV）、深紫外（DUV）、紫外、可见光和红外光谱。

氟化镁兼具优异的光学透射率和低折射率等优势，是制造光学透镜、窗口片和棱镜等光学器件的理想选择。与氟化钙相比，MgF2具有更短的截止波长和更好的紫外透射率，因此，MgF2晶体用作透射光学材料时，可在深紫外和真空紫外波长范围内提供高光学透射率。MgF2晶体最典型的应用是紫外光学元件和准分子激光光学元件。然而，由于氟化镁晶体的双折射特性，其应用范围受到限制，因此CaF2晶体成为更普遍的选择。尽管如此，氟化镁晶体各向异性微观结构所导致的光学双折射特性，可用于制作偏振光学器件，例如晶体双折射波片。

此外，氟化镁还具有优异的物理和化学特性。氟化镁晶体的优点包括优异的机械强度、比氟化钙更高的硬度以及优异的抗热震性，使其适用于极端环境。氟化镁晶体还具有较高的化学惰性和抗深紫外辐射能力，这进一步增强了其用途的多样性。

杭州煦和光电技术有限公司 (Shalom EO) 提供定制化的深紫外和真空紫外光学器件及晶体。本页详细介绍了我们的氟化镁晶体（可提供晶锭、毛坯、镀膜或抛光）以及氟化镁光学器件，例如氟化镁窗口片、透镜、棱镜、波片等。

煦和光电技术有限公司 (Shalom EO) 可提供最大晶锭直径为 120 毫米的氟化镁晶体，并具有高紫外透射率（晶体内部 193nm 波长下的透射率 >99%）。我们提供 (001)、(110)、(100) 等标准取向，也提供其他定制取向。我们的氟化镁产品有多种等级，包括单晶氟化镁和多晶氟化镁，不同等级的氟化镁可用于不同光谱范围的应用，包括真空紫外 (VUV)、深紫外-紫外 (DUV-UV)、可见-红外 (VIS-IR)。 Shalom EO 的 MgF2 晶锭采用高纯度生长工艺和 Bridgman-Stockbarger 法生长，在 VUV 至 DUV 波段具有低吸收率，并具有很强的抗 DUV 辐射能力。

Shalom EO 的 MgF2（氟化镁）光学元件精度要求严格，采用 TSK/线锯、精磨/精抛光等加工技术，表面质量最高可达 10/5 S/D，表面粗糙度最高可达 <0.5nm。镀膜选项包括增透膜、高反膜等。

除了块状 MgF2 晶体外，Shalom EO 还提供定制 MgF2 光学元件，包括（需要注意的是，氟化镁晶体是一种硬质晶体，可以进行高精度抛光。）：

MgF2 光学窗口：光学窗口是透明的光学元件，允许光线以最小的畸变和损耗通过，同时保护核心光学元件。Shalom EO 提供一系列 MgF2 窗口，包括平面窗口、方形窗口、阶梯形窗口等。窗口的镀膜可选，并提供特殊形状的 MgF2 窗口，例如带钻孔的窗口和楔形窗口。可实现10/5 S/D的表面质量、λ/10的表面平整度和<10英寸的平行度。
MgF2透镜：光学透镜是透射式光学元件，具有特殊的表面轮廓，可以汇聚或发散光线。Shalom EO提供平凸/凹透镜、双凸/凹透镜、弯月MgF2透镜等。MgF2透镜非常适合各种紫外激光器（例如准分子激光器）的激光聚焦，并可用作紫外光刻的聚焦透镜，具有高损伤阈值和低光吸收率。
MgF2棱镜：直角棱镜、等边棱镜、道威棱镜、五角棱镜、屋脊棱镜。MgF2棱镜非常适合紫外激光器的光束控制。
MgF2光学滤光片
波片：我们可以提供各种不同延迟值的MgF2波片。
MgF2分光镜：分光镜根据偏振或分光比将光分成两部分。
各种定制形状的MgF2光学元件：柱面透镜、棒状透镜、微透镜、波导等。

MgF2 晶体与光学器件的典型应用：

光学镀膜：MgF2 晶体可用作光学器件的增透膜，其低折射率有助于减少菲涅尔反射。
准分子激光器：MgF2 晶体常用于 193nm 准分子激光器，因为其能够承受高激光能量并具有较低的光吸收率。
紫外 (UV) 光学器件：MgF2 晶体的截止波长短，为 121nm，非常适合用于紫外光学器件。它可用于紫外半导体加工、荧光光谱仪等应用，在深紫外区域具有出色的透射率。
X 射线光刻：MgF2 晶体具有优异的 X 射线透射率和化学惰性，可用作 X 射线光刻的掩模材料，以实现大规模半导体的高分辨率加工，这对于集成电路的生产至关重要。
闪烁体：MgF2 可用作辐射探测应用的闪烁体，包括医学成像和核研究。
红外光学：虽然 MgF2 由于其宽带隙而在红外 (IR) 区域的透射率有限，但它在某些红外光学应用中仍然有用，例如用作保护涂层或窗口材料，可以保护更敏感的红外元件免受损坏，同时允许其他波长的光穿过。

Shalom EO MgF2 晶体的透射曲线：