1、原材料切割
2、研磨
3、光学接触固定到工装
4、加热并固定
粘接与光学接触车间
5、抛光
抛光车间
6、在线平整度检测
镀膜前表面质量检测与清洗
7、镀膜
8、镀膜光谱检测
表面质量检测
平整度和平行度检测（Zygo）
透镜中心偏差检测
激光损伤阈值检测