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直径
3、4、6 英寸
方向
X、Y-42、Y-46.3、Z 等
材料
LiTaO3、LiTaO3、石英等
厚度
5-50μm
硅
230-500μm
模块或类型：
本产品目录列出了Shalom EO的绝缘体上铌酸锂 (LNOI)、绝缘体上钽酸锂 (LTOI) 和绝缘体上石英，这些产品由硅衬底上的LiNbO3、LiNbO3或石英薄膜构成。顶层功能薄膜的厚度范围为5μm-50μm，硅衬底的厚度范围为230-500μm。