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Fe:SrTiO3晶体和基底

  • 晶体结构与 SrTiO3 相似
  • 典型厚度：0.5/1.0mm 或定制
  • 典型取向：<100> <110> <111>
  • 洁净包装：1000 级洁净室和 100 级包装袋
  • 单面或双面抛光可选
  • Fe 含量 (%)：0.05%、0.04%
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规格：

材质 Fe:SrTiO3 尺寸(mm) 10×3, 10×5, 10×10, 15×15, 20×15
厚度 0.5mm, 1.0mm 尺寸公差 <±0.1mm
厚度公差 <±0.015mm（特殊要求可达<±0.005mm） 抛光 单面或双面抛光 (SSP 或 DSP)
方向 <100>, <110>, <111> 重定向精度 ±0.5°
边缘重定向 2°（特殊为1°）
 

基本属性：

晶体结构 立方 生长方法 火焰法
晶格常数 a=3.905Å Fe 含量(%) 0.05%, 0.04%
熔点(℃) 2080 密度(g/cm3) 5.122
硬度(莫氏) 6-6.5 介电常数 ε=5.20
化学稳定性 不溶于水 热膨胀系数(/℃) 9.4×10-6
热膨胀系数 10.4×10-6/k 损耗角正切 ~5×10-4(300k) ~3×10-4(77k)

铁掺杂钛酸锶晶体基板 (Fe:STO) 是通过在 SrTiO3 晶格中添加少量铁而制成的。铁掺杂剂的介电和磁性使其可用于场效应晶体管 (FET)、高电子迁移率晶体管 (HEMT)、磁阻随机存取存储器 (MRAM) 和磁场传感器。杭州煦和光电提供铁掺杂浓度分别为 0.05% 和 0.04% 的 Fe:SrTiO3 基板。