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  • 铝酸锂(LiAlO2)晶体和基板
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铝酸锂(LiAlO2)晶体和基板

  • LiAlO2 在高温还原性气氛中保持稳定,熔点为 1900℃
  • 提供直径最大为 2 英寸的 LiAlO2 衬底
  • 提供各种尺寸 (mm) 和直径 (Ф),厚度选项为 0.5mm 或 1.0mm,方向包括 <100> 和 <001>,并可根据要求提供定制。
  • 非常适合 III-V 族氮化物薄膜生长
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规格:

尺寸(mm) 10×3, 10×5, 10×10, 15×15, 20×15, 20×20
Ф15, Ф20, Ф1″, Ф2″, Ф2.6″
厚度 0.5mm, 1.0mm
方向 <100>, <001> 取向公差 ±0.5°
结晶角度 可根据要求提供特殊尺寸和取向 边缘重定向 2°(特殊为1°)
表面粗糙度 ≤5Å(5µm×5µm) 抛光 SSP(单面抛光)或
DSP(双面抛光)

 

基础属性:

晶体结构 M4 晶格常数 a=5.17 Å c=6.26 Å
熔点 (℃) 1900 密度 2.62 g/cm3
硬度 7.5 (莫氏) 颜色和外观 透明

具有刚玉结构的铝酸锂 (LiAlO2) 单晶是 III-V 族氮化物薄膜的理想衬底选择,因为 LiAlO2 与氮化镓 (GaN) 之间的晶格失配度仅为 1.4%。LiAlO2 衬底具有较高的化学稳定性,能够承受高温还原性气氛。单取向 GaN 薄膜可以在 LiAlO2 衬底上生长,无需使用低温缓冲层。杭州煦和光电技术有限公司可提供直径最大可达 2 英寸的 LiAlO2 衬底,具有高表面粗糙度和洁净的封装。