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  • 硅(Si)晶体和晶片
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硅(Si)晶体和晶片

  • 半导体用高纯硅晶体及晶片
  • 直径:2英寸、3英寸、4英寸、6英寸和8英寸或定制尺寸
  • 库存及定制硅晶片
  • 应用:GaN外延薄膜生长的衬底,用于半导体、电子器件、激光器、太阳能电池等。
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规格:

方向 <100>, <110>, <111> 尺寸(mm) 10×3, 10×5, 10×10, 15×15, 20×15
厚度 0.5mm, 1.0mm 尺寸公差 <±0.1mm
厚度公差 <±0.015mm(特殊尺寸<±0.005mm) 抛光 SSP(单面抛光)或
DSP(双面抛光)
重定向精度 ±0.5° 边缘重定向 2°(特殊精度为1°)

 

基本属性:

晶体结构 M3 熔点(℃) 1420
密度(g/cm3) 2.4    
掺杂材料 b型掺杂 p型掺杂
类型 Ⅰ型 P型 N型
电阻率 >1000Ωcm 10-3~104Ωcm 10-3~104Ωcm
EPD ≤100∕cm2 ≤100∕cm2 ≤100∕cm2
O含量 (/cm3) ≤1~1.8×1018 ≤1~1.8×1018 ≤1~1.8×1018
碳含量 (/cm3) ≤5×1016 ≤5×1016 ≤5×1016

半导体硅片通常由高纯度多晶硅锭制成,采用直拉法(CZ)生长不同电阻率的硅单晶锭,或采用区熔法(Float Zone)生产。硅片的生产过程遵循受控且有序的流程,包括:晶体生长、切片、倒角/研磨(研磨)、表面蚀刻/抛光、清洗、检测、封装等工序。

可以将设计浓度的掺杂引入硅晶格,以改变其电学特性,并形成半导体器件所需的特定导电性区域(n型或p型)。硅晶片也是沉积各种薄膜以实现特定功能的绝佳平台。

杭州煦和光电技术有限公司提供各种等级的硅 (Si) 晶片和基板,它们可用作 GaN(氮化镓)外延薄膜生长、半导体和太阳能电池的基板。