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  • 玻璃晶圆和基板
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玻璃晶圆和基板

  • 品牌:SCHOTT Borofloat33/B270/D263/N-BK7/Zerodur、Corning Pyrex 和 Eagle XG、CDGM(中国)H-K9L/H-ZF/MJB5
  • 规格符合 SEMI 标准且经过 QC 检验
  • 熔融石英晶圆和基板也可供
  • 可根据要求定制尺寸和形状
  • 典型应用:半导体应用、光学元件(光学镜、滤光片等)镀膜基板、微流控芯片、LCD 等
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规格:

备注:标准玻璃晶圆和基板的规格如下,其他定制模块直径最大可达 450 毫米最小厚度为 30 微米 也可供订购。

商品(标准) 4 英寸 6 英寸 8 英寸 12 英寸
品牌和材料 SCHOTT Borofloat33/B270/BK7/D263、Corning Eagle XG/Pyrex、CDGM H-K9L/H-ZF/MJB5、钠钙玻璃
直径(圆形或方形) 100毫米 150毫米 200毫米 300毫米
尺寸公差 ±0.3毫米 ±0.3毫米 ±0.3毫米 ±0.5毫米
厚度 ≥0.15mm ≥0.25mm ≥0.3mm ≥0.3mm
一次平面 32±2mm 57.5/42±2mm 凹槽 凹槽
LTV (5mmx5mm) <1μm <1μm <1μm <2μm
TTV <1.5μm <3μm <5μm <5μm
弓形 ±20μm ±30μm ±40μm ±50μm
翘曲度 ≤25μm ≤30μm ≤50μm ≤60μm
PLTV(5mmx5mm范围内0.5μm) ≥95% ≥95% ≥95% ≤95%
边缘斜角 符合IEC62276和SEMI M1.2标准
抛光面粗糙度(Ra) ≤1nm
表面质量,S/D 40/20

玻璃晶圆和基板是由玻璃材料制成的薄圆片或方块。“玻璃”是指将原材料加热至液态后,快速冷却形成的玻璃状固体。

Shalom EO 提供的玻璃晶圆和基板采用与 SCHOTT Borofloat33/B270/D263/N-BK7/Zerodur、Corning Pyrex 和 Eagle XG、CDGM H-K9L/H-ZF/MJB5 以及传统钠钙玻璃等相当的玻璃制成。此外,我们还提供用于 LCD(液晶显示器)的镀有 ITO(氧化铟锡)导电膜的玻璃基板。这些玻璃材料的优势包括卓越的热稳定性和化学稳定性、优异的介电性能、高光谱透光率等,具体优势因玻璃类型而异。

晶圆和基板可提供抛光版(单面或双面可选),适用于高端应用;也提供价格实惠的未抛光版。Shalom EO 采用无磨损研磨和数控加工工艺,实现了极低的总厚度验证 (TTV)、严格的几何偏差和所需的平整度。交货前,我们会在洁净室进行仔细的检查,以确保质量符合 SEMI 标准。

最小厚度可低至 3 微米,并提供各种热膨胀系数,其他规格(形状、尺寸、材料选择等)均可免费定制。我们也乐意根据您的要求提供稳定性。


典型应用:

  • 半导体应用:用于薄硅片加工(3D IC、K RF IC 和扇出型封装)的载体基板
  • 液晶显示面板(我们可以提供已涂覆 ITO 导电膜的模块)
  • 3D 成像和传感
  • 支持各种键合工艺,包括激光键合、阳极键合等。
  • 用于光学元件(光学镜、滤光片等)涂层的基板
  • 晶圆级封装和保护面板
  • MEMS(微机电系统),其中玻璃晶圆可用作密封外壳和载体基板等。
  • 实验室和生物技术研究
  • 微流控芯片(纳米压印光刻)
  • 光学窗口
  • 光学成像镜头
  • 医疗器械
  • 航天器和天文望远镜


材料特性:

BOROFLOAT33:

肖特 BOROFLOAT33 是由肖特公司研发并指定的一款浮法硼硅酸盐玻璃。其化学成分为 81% 的硅酸盐、12% 的氧化硼以及其他微量添加剂,这款高品质玻璃材料具有以下特性:

  • 紫外至红外光谱范围内优异的光学透过率,荧光低。
  • 热膨胀系数低(仅为钠钙玻璃的1/3),抗热震性高(长期使用温度可达450℃)。
  • 化学稳定性优异,耐水、强碱和强酸侵蚀。
  • 低碱含量带来卓越的绝缘性能。

SCHOTT BOROFLOAT33 数据表

B270/N-BK7/H-K9L:

B270/N-BK7/H-K9L 属于冕牌玻璃系列,其特性非常相似,最显著的特点是其优异的光学品质:均匀的折射率和卓越的透射率。当不需要紫外熔融石英的额外优势(极高的紫外透射率)时,SCHOTT B270/N-BK7 和 CDGM H-K9L 是制造光学元件的理想选择。

SCHOTT B270(超白冕牌玻璃)在 UV-A 至 NIR 波长范围内具有出色的透射率,并且在可见光范围内无特征吸收。此外,它还具有极强的抗日晒性,最常见的应用是高端光学滤光片、触摸屏等。

肖特 N-BK7 及其中国替代产品 H-K9L 是光学硼硅酸盐冕玻璃,尤其适用于生产可见光谱范围内的高精度光学元件。此外,N-BK7 和 H-K9L 几乎不含气泡和杂质,折射率高度均匀,使其成为高能激光系统、计量系统等的理想选择。

B270/N-BK7/H-K9L 数据表

肖特 ZERODUR:

肖特 ZERODUR 是一种无孔无机微晶玻璃。Zerodur 玻璃的玻璃态和晶体态达到完美平衡,热膨胀系数接近于零,能够承受温度波动而不变形。由于微晶玻璃的化学和机械性能与普通玻璃非常接近,因此普通玻璃的加工方法也适用于微晶玻璃。这种玻璃尤其适用于天文应用,例如望远镜和环形激光陀螺仪。

肖特零度 (SCHOTT ZERODUR) 数据表

康宁鹰牌 (Corning Eagle) XG:

康宁鹰牌 (Corning Eagle) XG 是一种碱土金属硼铝硅酸盐玻璃。其轻质、可见光谱透射率高达 92% 以及表面平整度公差低的特点使其成为液晶显示器 (LCD) 面板的理想选择,并广泛应用于光电行业。不含钾和钠离子意味着康宁鹰牌 (Corning Eagle) XG 对环境更加友好。

康宁鹰牌 (Corning Eagle) XG 数据表

CDGM H-ZF 和 MJB5:

H-ZF 是一种改性致密火石玻璃,以氧化锑取代原有的砷成分,以氧化钛和氧化铌取代原有的铅成分。与传统的ZF玻璃相比,H-ZF玻璃更加环保,不含放射性元素,同时保留了高折射率和低阿贝数的特性。H-ZF玻璃特别适用于光学成像镜头。

MJB5玻璃是一种高强度的结晶玻璃,可通过化学抗压强度层轻松进行强化。MJB5玻璃可广泛应用于厚度较小的产品(例如手机保护板、手表等)。经过化学优化后,其机械性能甚至可能优于蓝宝石。

钠钙玻璃

钠钙玻璃是最常见且价格低廉的玻璃,推荐用于中等和普通的应用。由于石英的熔点较高,需要高温才能达到玻璃化转变温度,为了降低制造难度,人们在氧化硅中添加苏打(Na2CO3)来降低熔点,并添加石灰(CaO)等其他添加剂来提高玻璃的耐用性。