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规格:
备注:标准玻璃晶圆和基板的规格如下,其他定制模块直径最大可达 450 毫米,最小厚度为 30 微米 也可供订购。
玻璃晶圆和基板是由玻璃材料制成的薄圆片或方块。“玻璃”是指将原材料加热至液态后,快速冷却形成的玻璃状固体。
Shalom EO 提供的玻璃晶圆和基板采用与 SCHOTT Borofloat33/B270/D263/N-BK7/Zerodur、Corning Pyrex 和 Eagle XG、CDGM H-K9L/H-ZF/MJB5 以及传统钠钙玻璃等相当的玻璃制成。此外,我们还提供用于 LCD(液晶显示器)的镀有 ITO(氧化铟锡)导电膜的玻璃基板。这些玻璃材料的优势包括卓越的热稳定性和化学稳定性、优异的介电性能、高光谱透光率等,具体优势因玻璃类型而异。
晶圆和基板可提供抛光版(单面或双面可选),适用于高端应用;也提供价格实惠的未抛光版。Shalom EO 采用无磨损研磨和数控加工工艺,实现了极低的总厚度验证 (TTV)、严格的几何偏差和所需的平整度。交货前,我们会在洁净室进行仔细的检查,以确保质量符合 SEMI 标准。
最小厚度可低至 3 微米,并提供各种热膨胀系数,其他规格(形状、尺寸、材料选择等)均可免费定制。我们也乐意根据您的要求提供稳定性。
典型应用:
材料特性:
BOROFLOAT33:
肖特 BOROFLOAT33 是由肖特公司研发并指定的一款浮法硼硅酸盐玻璃。其化学成分为 81% 的硅酸盐、12% 的氧化硼以及其他微量添加剂,这款高品质玻璃材料具有以下特性:
SCHOTT BOROFLOAT33 数据表
B270/N-BK7/H-K9L:
B270/N-BK7/H-K9L 属于冕牌玻璃系列,其特性非常相似,最显著的特点是其优异的光学品质:均匀的折射率和卓越的透射率。当不需要紫外熔融石英的额外优势(极高的紫外透射率)时,SCHOTT B270/N-BK7 和 CDGM H-K9L 是制造光学元件的理想选择。
SCHOTT B270(超白冕牌玻璃)在 UV-A 至 NIR 波长范围内具有出色的透射率,并且在可见光范围内无特征吸收。此外,它还具有极强的抗日晒性,最常见的应用是高端光学滤光片、触摸屏等。
肖特 N-BK7 及其中国替代产品 H-K9L 是光学硼硅酸盐冕玻璃,尤其适用于生产可见光谱范围内的高精度光学元件。此外,N-BK7 和 H-K9L 几乎不含气泡和杂质,折射率高度均匀,使其成为高能激光系统、计量系统等的理想选择。
B270/N-BK7/H-K9L 数据表
肖特 ZERODUR:
肖特 ZERODUR 是一种无孔无机微晶玻璃。Zerodur 玻璃的玻璃态和晶体态达到完美平衡,热膨胀系数接近于零,能够承受温度波动而不变形。由于微晶玻璃的化学和机械性能与普通玻璃非常接近,因此普通玻璃的加工方法也适用于微晶玻璃。这种玻璃尤其适用于天文应用,例如望远镜和环形激光陀螺仪。
肖特零度 (SCHOTT ZERODUR) 数据表
康宁鹰牌 (Corning Eagle) XG:
康宁鹰牌 (Corning Eagle) XG 是一种碱土金属硼铝硅酸盐玻璃。其轻质、可见光谱透射率高达 92% 以及表面平整度公差低的特点使其成为液晶显示器 (LCD) 面板的理想选择,并广泛应用于光电行业。不含钾和钠离子意味着康宁鹰牌 (Corning Eagle) XG 对环境更加友好。
康宁鹰牌 (Corning Eagle) XG 数据表
CDGM H-ZF 和 MJB5:
H-ZF 是一种改性致密火石玻璃,以氧化锑取代原有的砷成分,以氧化钛和氧化铌取代原有的铅成分。与传统的ZF玻璃相比,H-ZF玻璃更加环保,不含放射性元素,同时保留了高折射率和低阿贝数的特性。H-ZF玻璃特别适用于光学成像镜头。
MJB5玻璃是一种高强度的结晶玻璃,可通过化学抗压强度层轻松进行强化。MJB5玻璃可广泛应用于厚度较小的产品(例如手机保护板、手表等)。经过化学优化后,其机械性能甚至可能优于蓝宝石。
钠钙玻璃
钠钙玻璃是最常见且价格低廉的玻璃,推荐用于中等和普通的应用。由于石英的熔点较高,需要高温才能达到玻璃化转变温度,为了降低制造难度,人们在氧化硅中添加苏打(Na2CO3)来降低熔点,并添加石灰(CaO)等其他添加剂来提高玻璃的耐用性。