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材料特性:
注:此处列出的参数代表市售熔融石英,仅供参考。如果您想查看每个品牌的具体性能,请查看各品牌的数据表。
规格:
熔融石英和光学石英玻璃晶圆或基板是由熔融石英或石英玻璃制成的各种尺寸或形状的薄圆盘或方板。术语“熔融石英”或“石英玻璃”(有时也称为“熔融石英”)是指由精制二氧化硅(SiO2)构成的透明固体,该二氧化硅通过快速冷却熔融石英以防止晶体结构的形成而获得无定形。(值得注意的是,“SiO2晶圆或基板”既可以解释为由非晶态石英玻璃制成的晶圆,也可以解释为由单晶石英制成的晶圆。)石英晶体具有各向异性的晶体结构,因此具有双折射性,而石英玻璃是非晶态的,因此具有各向同性,这意味着熔融石英玻璃不存在双折射性。
熔融石英或石英玻璃有两种:红外级熔融石英和紫外级熔融石英。红外级熔融石英是指采用降低羟基(OH)含量的生产方法生产的材料,从而提高红外波段的透射率。实现这一目标的方法之一是化学气相沉积 (CVD),其中将富硅前体(例如四氯化硅,SiCl4)加热成蒸汽,然后氧化,获得沉积物。而紫外级熔融石英是通过火焰熔融四氯化硅石而制成的,因此其羟基含量高于红外级熔融石英,导致其在红外光谱区具有吸收带,但其对紫外线的透射率高于红外级熔融石英。
总体而言,SiO2 玻璃系列具有一系列独特的优势,使其成为高科技产品制造中不可或缺的材料。首先,它具有卓越的热性能,熔点高达约 1650°C,石英玻璃在低于 1400°C 的温度下不会变形,同时还具有低热膨胀系数和优异的抗热震性。其次,熔融石英玻璃坚硬耐用,且加工和抛光难度适中。熔融石英和光学石英玻璃的其他优势包括:透光率高(约0.18 μm至3 μm,覆盖紫外、可见光和红外光谱)、化学惰性(除强碱或盐酸外,几乎可以耐受所有化学侵蚀)、耐辐射、低折射率和低色散等。熔融石英玻璃的应用领域广泛,涵盖光学和激光系统、紫外光消毒、半导体、航天器等。
杭州煦和光电技术有限公司提供熔融石英和光学石英玻璃晶圆或基板,其玻璃材料与上述品牌的玻璃材料相当:康宁HPFS 7980/7979/7978、JGS1(光学石英玻璃)。我们提供最大直径450毫米的大尺寸晶圆和基板,表面光滑,粗糙度小于5 Å。所有规格均可根据您的要求定制。
Shalom EO 可提供适用于以下应用的熔融石英和光学石英玻璃晶圆(或基板):
品牌特点:
康宁 HPFS 7980/7979/7978:
康宁 HPFS(高纯度熔融石英)玻璃具有低色散常数、优异的均匀性、在紫外、可见光和红外波段的卓越透明度以及超低的热膨胀系数。康宁 7980 紫外熔融石英玻璃在紫外光谱中表现出色,而康宁 7979 红外级玻璃通常具有较低的金属和羟基含量,从而在中红外波段具有更高的透射率。康宁 7978 也是一种红外级玻璃。采用康宁 HPFS 7980/7979/7978 制成的晶圆和基板特别适用于加工高端光学元件,包括光学透镜、光学窗口片、光学反射镜等。
康宁 HPFS 7980 和 7979 数据表
JGS1:
JGS1 是一种光学石英玻璃,以其紫外透明特性而闻名,采用高纯度 HHO 火焰熔化 SiCl4 石并冷却熔融物制成。
作为康宁 7980 紫外级熔融石英的理想中国替代品,它具有出色的机械、热和化学耐受性,适用于 180nm 至 2500nm 波长范围内的应用,其紫外和可见光谱平均透射率为 90%,当扩展到 185nm 以下的紫外范围时,透射率甚至更高。然而,由于其生产方法,约 10% 的大量 OH 会进入晶圆表面。嵌入了 2000pm 的杂质,导致透射曲线在 1400nm 和 2200nm 处出现下降,并在 2700nm 处出现强吸收峰。
Shalom EO 提供的 JGS1 与 Heraeus Suprasil 1 和 2、Saint-Gobain Spectrosil A 和 B、Corning 7980 以及 Dynasil 的 1100 和 4100 类似。
JGS1 数据表