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  • SAW石英(SiO2)晶体和晶片
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SAW石英(SiO2)晶体和晶片

  • 直径:3英寸、4英寸、5英寸和6英寸
  • 提供晶锭、毛坯和定制晶圆
  • 表面类型:单面抛光/双面抛光
  • 居里温度和质量控制测试
  • 应用:制造用于定时频率控制和频率选择等压电器件
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石英晶体规格:

材料 纯Z和Y棒均可提供 合成Q值 最小1.8 mil,2.4至3.0 mil IEC
蚀刻通道密度 最大15个/cm2 最大100个/cm2;最大300/cm2 应力 偏振光下无可见暗斑或变色
表面处理 #1000、#2000、#3000、#4000 和抛光标准 角度公差 ZZ':+/-15" +/-30",+/-1' +/-2'
XX' +/-15 , +/-30' 切割类型 AT、BT、IT、SC、....等
频率 1MHz 至 50 MHz(AT 基波) 圆形毛坯尺寸 直径 3.0 至 15.0 毫米(含平面)
晶圆尺寸 2.0x8.0 (mm) 至 16x16 (mm) SMD 类型 2.5x3.0 以上(客户可选)
平面 根据要求,平面应垂直于 X 轴,误差在 +/- 10 度以内
 

3英寸/4英寸/5英寸/6英寸石英晶圆规格

3英寸/4英寸/5英寸/6英寸石英晶圆规格
晶圆尺寸 3英寸 4英寸 5英寸 6英寸
直径(mm) 76.2 100 125 150
公差 (±mm) 0.25 0.5 0.5 0.5
主要参考平面 (mm) 22mm 或 定制 32.5mm 或 定制 42.5mm 或 定制 57.5mm 或 定制
LTV (5x5mm) (μm) <2 <2 <2 <2
TTV (μm) <8 <10 <15 <20
弓形 (μm) ±20 ±25 ±40 ±40
翘曲 (μm) ≤30 ≤40 ≤50 ≤50
PLTV (%) (5x5mm) ≥90% ≥90% ≥90% ≥90%
切割角度 AT36/ST42.75/X/Y/Z 等
方向 平面 所有可用
表面类型 单面抛光/双面抛光
抛光面 Ra (nm) ≤1
背面标准 (μm) 一般为 0.2-0.5 或可定制
边缘圆滑度 符合 SEMI M1.2 标准/参考 IEC62276
外观 污染:无
φ>大于 0.3μm 的颗粒:≤30
锯痕、条纹:无
划痕:无
裂纹、鱼尾纹、锯痕、拉伤:无

 

基本属性:

1.合成水晶石英的物理特性

密度(g/cm3) 2.65 熔点(°C) 1467
热导率,W/(m x K)
(T = 25°C)
10.7(平行于Z轴)
6.2(垂直于Z轴)
热导率,W/(m x K)
(T = 25°C)
7.1 × 10-6(平行于 Z 轴)
13.2 × 10-6(垂直于 Z 轴)
硬度(莫氏) 7 比热容,J/(kg x K)
(温度 = 25°C)
710
比热容,J/(kg x K)
(温度 = 25°C)
4.34(平行于 Z 轴)
4.27(垂直于Z轴)
杨氏模量 (E),GPa 4.34(平行于Z轴)
4.27(垂直于Z轴)
剪切模量 (G),GPa 31.14 体积模量 (K),GPa 36.4
化学稳定性 不溶于水 弹性系数 C11=87 C12=7 C44=58 C13=13 C14=18 C33=106
 

2.合成水晶石英折射率与波长的关系

合成水晶石英折射率与波长的关系
λ(μm) n0 ne λ(μm) n0 ne λ(μm) n0 ne
0.185 1.676 1.690 0.243 1.605 1.617 0.589 1.544 1.553
0.194 1.660 1.673 0.263 1.593 1.604 1.083 1.534 1.543
0.204 1.643 1.656 0.291 1.581 1.591 1.800 1.524 1.532
0.219 1.625 1.637 0.340 1.567 1.577 2.500 1.512 1.520
0.231 1.614 1.626 0.405 1.557 1.567 3.000 1.500 1.507

 

应用说明:

1.材料

该材料由人工生长的单晶右手α-石英棒组成,旨在用于制造压电器件,例如在热液条件下,在其长度沿Y轴的种子上进行定时频率控制和频率选择。该培养石英晶体应具有由以下等级定义的标称Q值规格:等级Q值:合成石英晶体的规格。

石英晶体规格
红外吸收 α 3585 ≤ 0.024 ≤ 0.024 ≤ 0.05 ≤ 0.05
Q x106 3.0 3.0 2.4 2.4
夹杂物密度 I I I I 或 II
蚀刻通道密度 (条/cm2 ) ≤10 ≤30 ≤100 ≤100

 

2. 合成石英晶体的质量评估

2.1 合成石英晶体中晶体缺陷和杂质的含量取决于生长速率、矿化剂和原材料。生长速率对与Q值相关的红外吸收系数α和频率-温度特性等重要特性影响很大。生长速率越大,α越大,Q值越小,频率-温度特性也越不稳定。

2.2 合成石英晶体的质量指标最初是Q值,使用工作在5次泛音模式下的5 MHz石英晶体单元来获得Q值。但由于制造5 MHz晶体单元需要大量工作,因此该指标已改为系数α而不是Q值。

3.合成石英晶体的标准规范

3.1 孪生:在可用区域内不得出现电学或光学孪生。

3.2 应变:籽晶内部和表面以及生长的石英晶体中不得存在应变。

3.3 裂纹和断裂:在可用区域内不得出现裂纹、缺口或断裂。

3.4 夹杂物密度:本规范符合 IEC 60758 标准。

尺寸范围 (μm) 等级 数量/立方厘米 (cm3)
10 至 30 30 至 70 70 至 100 >100
Ia 2 1 0 0
Ib 3 2 1 1
I 6 5 2 2
II 9 5 4 3
III 12 8 6 4

 

3.5 红外质量指示:规格符合 IEC 60758 标准。

等级 最大α3585 估计的 Q 值 (x 106)
A 0.015 3.8
A 0.024 3.0
B 0.050 2.4
C 0.069 1.8
D 0.100 1.4

 

3.6 蚀刻通道密度:规格符合 IEC 60758 标准。

等级 最大每立方厘米数量
1 10
2 30
3 100
4 300
5 600

 

4.锯材石英晶体规格

4.1 角度:

4.1.1 X 面绕 Y 轴旋转角度:0°00’±15’

4.1.2 X 面绕 Z 轴旋转角度:0°00’±15’

4.2 尺寸公差:

4.2.1 沿 X 或 Z 轴:±0.1 mm

4.2.2 沿 Y 轴:±10 mm

4.3 表面粗糙度:可根据客户要求定制,研磨或抛光均可。


石英晶体,化学成分为SiO2,是用于SAW器件的主要材料,其熔点为1750℃,密度为2.65×103 kg/m3,莫氏硬度为7。SAW级石英晶体晶片因其优异的压电性能,非常适合表面声波(SAW)应用。石英晶体的热稳定性是其最吸引人的特性之一,其压电系数和介电系数在室温下几乎保持不变。此外,石英晶体还具有机械强度高、品质因数高、刚性好、动态特性好、无热释电和铁电效应、绝缘性好等优点。 

石英晶体是单晶中最具代表性和最常见的压电晶体。压电石英的应用包括谐振器、高频振荡器和滤波器,并广泛应用于导航、遥控、遥测、自动武器、超音速飞机、导弹、核武器、电子显微镜、计时器等电子设备中。

杭州煦和光电有限公司提供定制SAW级石英晶体和晶片,配备先进的晶体生长、晶片切割、晶片研磨、晶片抛光和晶片检测设备,所有成品均经过居里温度测试和质量控制检验。我们可根据客户需求提供石英晶锭、晶圆坯、晶片坯和抛光晶片。



各种类型的石英晶体取向



熔融石英和光学石英玻璃晶片

熔融石英和光学石英玻璃晶片

    • 品牌:康宁 HPFS 7980/7979/7978、JGS1 紫外光学石英玻璃
    • 用于半导体、微电子、光学窗口光学镜等的基板。
    • 也可提供单晶石英晶片和基板
    • 定制尺寸、形状等
    • 最大直径 450 毫米,最小厚度 0.03 毫米
    • 应用:紫外应用、光学和激光系统、航天器和半导体等。
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