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3英寸/4英寸/5英寸/6英寸石英晶圆规格
基本属性:
1.合成水晶石英的物理特性
2.合成水晶石英折射率与波长的关系
应用说明:
1.材料
该材料由人工生长的单晶右手α-石英棒组成,旨在用于制造压电器件,例如在热液条件下,在其长度沿Y轴的种子上进行定时频率控制和频率选择。该培养石英晶体应具有由以下等级定义的标称Q值规格:等级Q值:合成石英晶体的规格。
2. 合成石英晶体的质量评估
2.1 合成石英晶体中晶体缺陷和杂质的含量取决于生长速率、矿化剂和原材料。生长速率对与Q值相关的红外吸收系数α和频率-温度特性等重要特性影响很大。生长速率越大,α越大,Q值越小,频率-温度特性也越不稳定。
2.2 合成石英晶体的质量指标最初是Q值,使用工作在5次泛音模式下的5 MHz石英晶体单元来获得Q值。但由于制造5 MHz晶体单元需要大量工作,因此该指标已改为系数α而不是Q值。
3.合成石英晶体的标准规范
3.1 孪生:在可用区域内不得出现电学或光学孪生。
3.2 应变:籽晶内部和表面以及生长的石英晶体中不得存在应变。
3.3 裂纹和断裂:在可用区域内不得出现裂纹、缺口或断裂。
3.4 夹杂物密度:本规范符合 IEC 60758 标准。
3.5 红外质量指示:规格符合 IEC 60758 标准。
3.6 蚀刻通道密度:规格符合 IEC 60758 标准。
4.锯材石英晶体规格
4.1 角度:
4.1.1 X 面绕 Y 轴旋转角度:0°00’±15’
4.1.2 X 面绕 Z 轴旋转角度:0°00’±15’
4.2 尺寸公差:
4.2.1 沿 X 或 Z 轴:±0.1 mm
4.2.2 沿 Y 轴:±10 mm
4.3 表面粗糙度:可根据客户要求定制,研磨或抛光均可。
石英晶体,化学成分为SiO2,是用于SAW器件的主要材料,其熔点为1750℃,密度为2.65×103 kg/m3,莫氏硬度为7。SAW级石英晶体晶片因其优异的压电性能,非常适合表面声波(SAW)应用。石英晶体的热稳定性是其最吸引人的特性之一,其压电系数和介电系数在室温下几乎保持不变。此外,石英晶体还具有机械强度高、品质因数高、刚性好、动态特性好、无热释电和铁电效应、绝缘性好等优点。
石英晶体是单晶中最具代表性和最常见的压电晶体。压电石英的应用包括谐振器、高频振荡器和滤波器,并广泛应用于导航、遥控、遥测、自动武器、超音速飞机、导弹、核武器、电子显微镜、计时器等电子设备中。
杭州煦和光电有限公司提供定制SAW级石英晶体和晶片,配备先进的晶体生长、晶片切割、晶片研磨、晶片抛光和晶片检测设备,所有成品均经过居里温度测试和质量控制检验。我们可根据客户需求提供石英晶锭、晶圆坯、晶片坯和抛光晶片。
各种类型的石英晶体取向