砷化铟(InAs)单晶广泛用作异质结材料(InAsSb/In-AsPSb、InNAsSb)的衬底材料,用于制作2~14μm红外发射器件。砷化铟(InAs)也可作为外延生长中波红外量子级联激光器(QCL)用AlGaSb超晶格结构材料的衬底材料。InAs广泛应用于气体监测、低损耗光纤通信等领域。由于其迁移率高,是制作霍尔半导体的理想材料。作为单晶衬底,砷化铟必须具有较低的位错密度、良好的晶格完整性、合适的电学参数和较高的均匀性。该材料的主要生长方法是经典的液相封装提拉法(LEC)。
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