杭州煦和光电开发了一种用于生产高精度薄型光学窗口或基片的双面抛光方法,该方法一次性完成窗口或基片表面的抛光,实现了表面平整度的精确控制,同时将表面质量提升至10/5 S/D。本厂生产的高精度薄窗口性能优异,可满足超薄(0.1mm、0.2mm)窗口或高表面平整度(Lambda/10 或 Lambda/4 @633nm)基底的要求,面向飞秒激光器等精密光学系统应用,飞秒激光器的市场份额近年来不断飙升。
双面抛光法是一种对光学元件两个表面一次性完成抛光工序的加工技术。光学元件在抛光过程中无需放置在间距板上,因此不存在因抛光光学元件与承载板之间的粘合和分离而引起的应力释放问题,从而在很大程度上消除了窗口基板表面平整度的变化。
Shalom EO 提供由BK7、紫外熔融石英和石英晶体制成的高精度薄窗口,这些窗口具有 10/5 划痕/麻点的卓越表面质量、10 角秒的平行度,最小厚度可达 0.03 毫米,直径可达 0.5 毫米。N-BK7 适用于可见光至红外光谱(350-2000nm)的波长,而紫外熔融石英由于在紫外范围内的吸收率低,因此推荐用于紫外波长。它们都是著名的光学玻璃材料,具有较高的机械强度和热稳定性,可以在各种条件下工作。此外,我们还提供石英晶体制成的窗口片。
Shalom EO 提供的薄型 BK7、UVFS 和石英晶体窗口片的标准规格包括:12.7mmx0.2mm(λ/2 平面度)、12.7mmx1.0mm(λ/10 平面度)、25.4mmx0.2mm(λ/2 平面度)和 25.4mmx1.0mm(λ/10 平面度),以及其他定制尺寸。窗口片可配置支架以方便操作,并提供未镀膜窗口片基片和定制增透膜窗口片。
干涉测试结果(由 Zygo 测量)
飞线激光系统近年来发展迅速,随之而来的是其最关键部件之一,对具有高表面平整度(Lambda/10 或 Lambda/4 @633nm)的超薄(通常为 0.1mm、0.2mm)窗口或基板的需求激增。
经典的单表面抛光方法虽然在高精度激光级光学产品的生产中被常规和普遍使用,但实际实施已证明其在加工微小厚度的高平整度光学元件时存在困难和不可靠性。原因在于,在传统的单面抛光实际操作中,抛光后的光学元件通常放置在间距板上进行抛光,间距板和光学元件通常采用粘接的方式,这会对光学元件产生应力。当光学元件位于间距板上时,可能能够获得较高的表面质量(表面平整度和表面划痕/麻点),但一旦光学元件脱离间距板,粘接产生的应力就会释放,导致光学元件的形状发生轻微变化,表面平整度也会降低。光学元件越薄,应力释放的影响就越大,因为即使是最轻微的表面平整度偏差,其在总厚度中所占的比例也可能非常大。在超薄窗口片中实现高表面平整度始终是制造商面临的挑战。
为了解决这个问题,杭州煦和光电成功开发了一种用于加工高精度光学窗口片或基板的双面抛光方法,其中光学元件的两个表面一次性完成抛光工序。光学元件在加工过程中无需放置在间距板上,因此不存在应力释放问题,有效消除了从间距板上取下后表面平整度的变化。双面抛光法此前未应用于精密光学制造,因为该方法生产的成品光学元件存在表面质量低(即S/D较大)的缺陷。杭州沙龙光电通过改进抛光机克服了这一障碍,将表面质量提高到10/5 S/D,同时充分利用了双面抛光法精确的表面平整度优势。此外,UVFS超薄窗口片或基板也实现了优异的平行度(10角秒)。