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LaAlO3基板

  • 最大直径:3英寸,典型厚度0.5/1.0毫米
  • LaAlO3衬底取向:<100>、<110>、<111>
  • 表面粗糙度:Ra <0.5纳米
  • 洁净封装:1000级洁净室,100级包装袋
  • 应用:高温超导体 (HTS) 外延生长、磁性和铁电薄膜、低损耗微波和介电谐振应用
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Code Size Thickness Orientation Surface Finish Unit Price Delivery 询价
645-001 5x5mm 0.5mm <100> SSP Inquire 2 weeks
645-002 5x5mm 0.5mm <100> DSP Inquire 2 weeks
645-004 5x5mm 0.5mm <111> SSP Inquire 2 weeks
645-005 10x10mm 0.5mm <100> SSP Inquire 2 weeks
645-006 10x10mm 0.5mm <100> DSP Inquire 2 weeks
645-007 10x10mm 0.5mm <110> SSP Inquire 2 weeks
645-008 10x10mm 0.5mm <111> SSP Inquire 2 weeks
645-009 φ25.4mm 0.5mm <100> SSP Inquire 2 weeks
645-010 φ25.4mm 0.5mm <100> DSP Inquire 2 weeks
645-011 Φ50.8mm 0.5mm <100> SSP Inquire 2 weeks
645-012 Φ50.8mm 0.5mm <100> DSP Inquire 2 weeks
645-013 Φ76.2mm 0.5mm <100> SSP Inquire Inquire
645-014 Φ76.2mm 0.5mm <100> DSP Inquire Inquire

LaAlO3(铝酸镧)单晶具有钙钛矿晶体结构,与多种具有类似钙钛矿结构的材料具有良好的晶格匹配性。其宽带隙、热稳定性和低介电损耗使其在高频电子学、光学等领域具有优异的应用前景,并且是外延生长和薄膜及异质结构研究不可或缺的平台。LaAlO2 可以生长各种材料,包括复合氧化物、高温超导体、磁性材料和多铁性材料。 LaAlO3 具有较高的介电常数,因此在电容器应用中非常有用。

杭州煦和光电技术有限公司提供现货外延 LaAlO3 晶圆,并且可根据要求提供定制 LaAlO3 晶圆。

LaAlO3 基板的应用:

  • 外延生长:LaAlO3 基板可用作复合氧化物薄膜外延生长的模板,包括高温超导体、磁性材料和多铁性材料。LaAlO3 与沉积材料之间的晶格匹配使得能够精确控制薄膜质量和界面特性。
  • 电子学:在电子学领域,LaAlO3 基板可用于制造高性能场效应晶体管 (FET)、电阻式随机存取存储器 (RRAM) 和光子器件。 LaAlO3 与各种沉积技术的兼容性使其能够集成多种功能材料和器件架构。
  • 光电子学:LaAlO3 衬底在光电器件(例如发光二极管 (LED)、光电探测器和电光调制器)的开发中发挥着至关重要的作用。LaAlO3 在可见光和近红外光谱中的透明特性使其非常适合光学应用。
  • 燃料电池和传感器:LaAlO3 基薄膜正被研究用于固体氧化物燃料电池 (SOFC)、气体传感器和催化应用。LaAlO3 的高化学稳定性和离子电导率有助于实现高效的离子传输和电极性能。

常用规格:

材料 LaAlO3 晶体 取向 <100>, <110>, <111>
取向误差 ±0.5° 最大直径 3 英寸
典型厚度 0.5mm, 1.0mm 厚度公差 ±0.05mm
尺寸公差 ±0.1mm 表面光洁度 SSP 或 DSP
粗糙度 Ra<0.5nm 洁净度和包装 1000 级洁净室,100 级包装袋

曲线:

1)LaAlO3 <100> 的典型 X 射线衍射 (XRD) 曲线晶体衬底




2)典型表面粗糙度基材LaAlO3 <100> 和 <001>通过原子力显微镜 (AFM) 在 5μm x 5μm 尺度上测量








LaAlO3 Wafers φ76.2x0.5mm <100> SSP

LaAlO3 Wafers φ76.2x0.5mm <100> SSP

LaAlO3 Wafers 5x5x0.5mm <111> SSP

LaAlO3 Wafers 5x5x0.5mm <111> SSP

LaAlO3 Wafers φ50.8x0.5mm <100> DSP

LaAlO3 Wafers φ50.8x0.5mm <100> DSP