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晶圆和基板
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用于 HTSC 薄膜生长的基板和晶圆
>
SrTiO3 基底
SrTiO3 基底
无孪晶结构,物理性能优异,机械性能优良
最大直径:35mm,典型厚度:0.5/1.0mm
提供库存和定制 SrTiO3 衬底
表面粗糙度:Ra <0.5nm
洁净封装:1000 级洁净室和 100 级包装袋
其他应用:HTSC 和氧化物薄膜(例如 YBCO、Bi 系、La 系等)的外延生长、特殊光学窗口、高质量溅射、磁体溅射、脉冲激光沉积 (PLD)
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产品列表
产品描述
规格参数
相关产品
Code
Size
Thickness
Orientation
Surface Finish
Unit Price
Delivery
询价
642-001
5x5mm
0.5mm
<100>
SSP
Inquire
2 weeks
642-002
5x5mm
0.5mm
<100>
DSP
Inquire
2 weeks
642-003
5x5mm
0.5mm
<110>
SSP
Inquire
2 weeks
642-004
5x5mm
0.5mm
<111>
SSP
Inquire
2 weeks
642-005
10x10mm
0.5mm
<100>
SSP
Inquire
2 weeks
642-006
10x10mm
0.5mm
<100>
DSP
Inquire
2 weeks
642-007
10x10mm
0.5mm
<110>
SSP
Inquire
2 weeks
642-008
10x10mm
0.5mm
<111>
SSP
Inquire
2 weeks
642-009
Φ12.7mm
0.5mm
<100>
SSP
Inquire
2 weeks
642-010
Φ12.7mm
0.5mm
<100>
DSP
Inquire
2 weeks
642-011
Φ20mm
0.5mm
<100>
SSP
Inquire
2 weeks
642-012
Φ20mm
0.5mm
<100>
DSP
Inquire
2 weeks
642-013
Φ25.4mm
0.5mm
<100>
SSP
Inquire
2 weeks
642-014
φ25.4mm
0.5mm
<100>
DSP
Inquire
2 weeks
钛酸锶或 SrTiO3 (STO) 单晶与大多数钙钛矿结构材料具有良好的晶格匹配性。它是外延生长 HTS(高温超导体)和许多氧化物薄膜的优良基底。其晶格常数(3.905Å)与常见的高温超导材料 YBCO(3.88 Å)非常吻合。它具有无孪晶结构和非常好的薄膜生长物理和机械性能。它适用于各种高温超导薄膜,如 YBCO、Bi 系、La 系等。SrTiO3 是一种性能优良、应用广泛的高温超导单晶基底。SrTiO3 单晶也被广泛用于特殊光学窗口和高质量溅射靶材。它还适用于不同的薄膜生长技术,如磁控溅射、脉冲激光沉积 (PLD)、气化、MOCVD、CVD、激光 MBE 等。采用这些材料和技术在 SrTiO3 晶片上制备的薄膜具有优异的性能,例如 Tc>90K、Jc> = 106A/cm
2
。杭州沙洛姆 EO 提供库存标准 SrTiO3(或 STO)晶片和定制晶片。
常用规格:
材料
SrTiO3 晶体
取向
<100>, <110>, <111>
取向误差
±0.5°
最大直径
35mm
典型厚度
0.5mm, 1.0mm
厚度公差
±0.05mm
尺寸公差
±0.1mm
表面光洁度
SSP 或 DSP
粗糙度
Ra<0.5nm
洁净度与封装
1000 级洁净室,100 级包装袋
STO 基本属性:
晶体结构
M6
生长方法
火焰生长法
晶胞常数
a=3.905Å
孪生结构
无孪生
颜色
无色至浅黄色
熔点(℃)
2080
密度(g/cm
3
)
5.175(g/cm
3
)
硬度
6-6.5(莫氏硬度)
热膨胀系数(/℃)
9.4×10
-6
热导率
100 °C 时 120 毫瓦/厘米 °C
介电常数
ε=300
化学稳定性
不溶于水
正切损耗
~5×10
-4
(300kΩ) ~3×10
-4
(77kΩ)
比电阻
> 10
7
欧姆/厘米
透射范围
0.4 至 6 µm
折射率
nc= 2.380 nd= 2.409 nf= 2.488
色散
(nf- nc) = 0.108
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