环形激光陀螺仪的镜子

环形激光陀螺仪 (RLG) 由一个环形激光器组成，该激光器在同一路径上具有两个独立的反向传播谐振模式。它是一种光学陀螺仪，利用沿反射镜产生的路径传播的窄带光波形，基于萨格纳克效应测量旋转。

为了能够集成到环形激光陀螺仪 (RLG) 中，反射镜和外耦合涂层必须具有超低的吸收和散射损耗、优异的耐等离子体环境性能以及长久的耐用性。

杭州沙洛姆光电提供的激光陀螺仪反射镜或基板粗糙度小于 1Å。我们利用高效先进的生产线，并使用原子力显微镜和 Zygo 干涉仪实施严格的质量控制，能够提供质量稳定、数量一致的激光陀螺反射镜。

特点：

1. 独特的经典抛光工艺

尽管磁流变液抛光法被认为是一种制造超低粗糙度光学表面的有效方法，但其高成本和低生产率使其在工业应用中不切实际，因此大多数超抛光光学元件都是采用经典抛光方法制造的。Shalom EO 开发了一种基于经典抛光方法改进的独特加工技术来制造超抛光光学元件，以倾斜板作为抛光工具，采用我们的抛光工艺可以获得<1Å的粗糙度。测试表明，我们的基底和反射镜在激光陀螺系统中工作良好。

2. 粗糙度测量

对于一次散射测试，我们使用25和40 mW的绿光激光器，通过观察从光学元件表面反射的激光来找到散射点，这是一种简单快捷的表面粗糙度测试方法。对于粗糙度或散射测试的最终测试，我们使用布鲁克的原子力显微镜 (AFM) 来测量抛光光学元件的最终粗糙度。请参见以下 AFM 测量系统的图片。

3. 平面度测量

Zygo Lambda 2000 系列模块 GPIXP-D6” 用于测量抛光表面的最终平面度。测量示意图如下。

4. 镀膜测试

对于激光陀螺镜而言，镀膜的最终处理也至关重要，需要低吸收和低散射损耗，并通过测量总积分散射（TIS）来评估镜面的表面损耗。