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SrTiO3 基底

  • 无孪晶结构,优异的物理性能和机械性能
  • 最大直径:35mm,典型厚度:0.5/1.0mm
  • SrTiO3 衬底备有库存,也可定制
  • 表面粗糙度:Ra <0.5nm
  • 洁净封装:1000 级洁净室和 100 级包装袋
  • 其他应用:HTSC 和氧化物薄膜(例如 YBCO、Bi 系、La 系等)的外延生长、特殊光学窗口、高质量溅射、磁体溅射、脉冲激光沉积 (PLD)
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Code Size Thickness Orientation Surface Finish Unit Price Delivery 询价
642-001 5x5mm 0.5mm <100> SSP Inquire 2 weeks
642-002 5x5mm 0.5mm <100> DSP Inquire 2 weeks
642-003 5x5mm 0.5mm <110> SSP Inquire 2 weeks
642-004 5x5mm 0.5mm <111> SSP Inquire 2 weeks
642-005 10x10mm 0.5mm <100> SSP Inquire 2 weeks
642-006 10x10mm 0.5mm <100> DSP Inquire 2 weeks
642-007 10x10mm 0.5mm <110> SSP Inquire 2 weeks
642-008 10x10mm 0.5mm <111> SSP Inquire 2 weeks
642-009 Φ12.7mm 0.5mm <100> SSP Inquire 2 weeks
642-010 Φ12.7mm 0.5mm <100> DSP Inquire 2 weeks
642-011 Φ20mm 0.5mm <100> SSP Inquire 2 weeks
642-012 Φ20mm 0.5mm <100> DSP Inquire 2 weeks
642-013 Φ25.4mm 0.5mm <100> SSP Inquire 2 weeks
642-014 φ25.4mm 0.5mm <100> DSP Inquire 2 weeks

钛酸锶或SrTiO3(STO)单晶 具有无孪晶结构,并具有非常适合薄膜生长的物理和机械性能。STO与大多数具有钙钛矿结构的材料具有良好的晶格匹配性。它是HTSC(高温超导体)和各种氧化物薄膜外延生长的优良基材。其晶格常数(3.905Å)与常见的高温超导材料YBCO(晶格常数3.88Å)高度匹配。STO也是其他高温超导薄膜(例如铋系、镧系等)的理想生长平台。SrTiO3单晶已被用于特殊光学窗口材料和高质量溅射靶材。它还可以适应多种薄膜生长技术,如磁控溅射、脉冲激光沉积 (PLD)、汽化、MOCVD、CVD、激光 MBE 等。采用这些材料和技术在 SrTiO3 晶片上制备的薄膜表现出优异的性能。

杭州煦和 提供库存标准 SrTiO3(或 STO)晶片和定制晶片。

常用规格:

材料 SrTiO3 晶体 取向 <100>, <110>, <111>
取向误差 ±0.5° 最大直径 35mm
典型厚度 0.5mm, 1.0mm 厚度公差 ±0.05mm
尺寸公差 ±0.1mm 表面光洁度 SSP 或 DSP
粗糙度 Ra<0.5nm 清洁度与封装 1000 级洁净室,100 级封装


STO 基本属性:

晶体结构 M6 生长方法 火焰生长法
晶胞常数 a=3.905Å 孪生结构 无孪生
颜色 无色至浅黄色 熔点(℃) 2080
密度(g/cm3 5.175(g/cm3 硬度 6-6.5(莫氏硬度)
热膨胀系数(/℃) 9.4×10-6 热导率 100 °C 时 120 毫瓦/厘米 °C
介电常数 ε=300 化学稳定性 不溶于水
正切损耗 ~5×10-4(300kΩ) ~3×10-4(77kΩ) 比电阻 > 107欧姆/厘米
透射范围 0.4 至 6 µm 折射率 nc= 2.380 nd= 2.409 nf= 2.488
色散 (nf- nc) = 0.108

曲线:

1)SrTiO3 晶体衬底的典型 X 射线衍射(XRD)曲线




2) SrTiO3 基板的典型表面粗糙度<100>通过原子力显微镜 (AFM) 在 5μm x 5μm 尺度上测量







SrTiO3 Wafers 10x10x0.5mm <111> SSP

SrTiO3 Wafers 10x10x0.5mm <111> SSP

SrTiO3 Wafers Φ12.7mmx0.5mm <100> SSP

SrTiO3 Wafers Φ12.7mmx0.5mm <100> SSP

SrTiO3 Wafers 10x10x0.5mm <110> SSP

SrTiO3 Wafers 10x10x0.5mm <110> SSP