近年来，飞秒激光系统（Femto-line laser systems）发展迅速，与之配套的关键组件之一——具有高表面平整度（@633nm下λ/10或λ/4） 的超薄光学窗口或基片（通常厚度为0.1mm、0.2mm）需求量也随之激增。
传统的单面抛光工艺虽然常用于高精度激光级光学元件的制造，但在加工高平整度且超薄的光学元件时却存在困难和不稳定性。原因在于，在单面抛光过程中，光学元件通常固定在沥青盘（pitch plate）上进行抛光，光学元件与沥青盘之间的粘合会引入应力。虽然在粘合状态下可以获得较高的表面平整度和划痕/麻点（S/D）质量，但当光学元件从沥青盘上脱离时，粘合应力会释放，从而导致光学元件的形状发生微小变化，表面平整度下降。光学元件越薄，这种应力释放的影响就越明显，因为微小的形变在整体厚度中所占比例更大。实现超薄光学窗片的高平整度一直是制造商的技术难题。
为了解决这一问题，杭州煦和光电（Hangzhou Shalom EO）成功开发了双面抛光工艺（Double Surface Polishing Method），该工艺在一次加工中同时完成光学元件两面的抛光。整个过程中光学元件不与沥青盘接触，从而避免了应力释放导致的平整度变化，有效地保持了光学元件的高平整度。过去双面抛光工艺未被广泛用于高精度光学制造，原因在于其成品表面质量较低（即较高的S/D值）。煦和光电通过改进抛光设备，成功将表面质量提升至10/5 S/D，同时充分发挥了双面抛光在平整度控制方面的优势。此外，该工艺还实现了优异的平行度（10角秒），特别适用于超薄UVFS（紫外熔融石英）窗口或基片的制造。
煦和光电提供采用BK7、紫外熔融石英（UV Fused Silica）和石英晶体材料制成的高精度超薄窗口。这些光学元件具有优异的10/5表面质量（Scratch/Dig）、10角秒平行度，最小厚度可达0.03mm，直径最小至0.5mm。N-BK7适用于可见光至红外波段（350–2000nm），而UV Fused Silica在紫外波段具有极低吸收率。两种材料都具有良好的机械强度和热稳定性，可在多种条件下工作。此外，还可提供石英晶体窗口。煦和光电提供的标准规格包括：12.7mm×0.2mm（λ/2平整度）、12.7mm×1.0mm（λ/10平整度）、25.4mm×0.2mm（λ/2平整度）以及25.4mm×1.0mm（λ/10平整度），同时可定制其他尺寸。光学窗片可配备安装支架以便操作，并可选择未镀膜或定制AR增透镀膜。
图1. 干涉测试结果（Zygo测量）
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