光学元件
光学镀膜,也称为光学薄膜或光学薄膜滤光片,是沉积在光学元件和元件基底界面上的折射材料薄膜。光学镀膜由单层或多层薄膜组成,可以改变光与表面之间的相互作用,增强透射、反射和吸收,从而提高光学系统的整体效率或改变光的偏振状态。通常,镀膜采用物理气相沉积 (PVD) 技术附着在光学元件表面。
杭州煦和光电技术有限公司 (Shalom EO) 的光学镀膜可满足从深紫外 (DUV)、紫外 (UV)、可见光 (VIS) 到红外 (IR) 等各种工作波长的需求。无论是追求最大化的光透射率和高反射率,还是控制光的光谱成分和特性,煦和光电技术有限公司 (Shalom EO) 都能根据您的需求定制符合您期望并符合预算的光学镀膜。我们提供的光学镀膜种类繁多,包括增透膜、高反射介质镀膜、金属高反射率镀膜、滤光膜和分束器镀膜,可广泛应用于各种光学元件和激光光学器件,如光学窗口、光学透镜、光学反射镜、滤光片、偏振器、激光反射镜和透镜、非线性晶体、激光晶体等。
光学镀膜通常可分为介质镀膜和金属镀膜。介质光学镀膜是由介质材料制成的折射薄膜,沉积在基底上,利用干涉效应实现特定的光学特性。介质光学镀膜可以由最简单的单层薄膜组成,也可以由数百层不同折射率的交替薄膜组成,这些薄膜可以通过相消干涉抵消来自不同光学界面的反射波,或最大化菲涅尔反射的相长干涉。每层薄膜的厚度范围从几十纳米到几百纳米,厚度可以与镀膜材料的折射率进行微调,从而实现干涉的灵活控制。金属镀膜通常用作光学镜面上的高反射 (HR) 镀膜。金属高反射镀膜虽然对入射光的基本吸收率较高,导致反射率有限,但由于折射率复杂,其具有优异的宽带反射率和较小的波长依赖性。金属镜面镀膜因其简单的制造工艺而经济高效且用途广泛。金属镀膜易损,容易受到污染、氧化和随后的降解,因此需要生产增强型金属镀膜和保护型金属镀膜,以保护金属镀膜并提高其反射率。
煦和光电 提供一系列专用镀膜,包括:
抗反射 (AR) 镀膜:抗反射 (AR) 镀膜是一种光学镀膜,通常由氧化物制成,可以最大限度地减少反射,最大限度地提高透射率,并避免重影。AR 镀膜可以有效减少因反射造成的损失。如果使用多个光学元件,AR 镀膜可以显著提高总能量效率。我们提供各种增透膜,包括可在感兴趣的波长范围内提供优化光学传输的宽带增透膜 (BBAR),可传输两个或多个特定波长的双波长/多波长增透膜,以及具有 V 形传输曲线的激光线 V 型镀膜,旨在最大限度地提高中心激光波长周围窄带宽的传输。
高反射 (HR) 介质膜:高反射 (HR) 膜旨在提供高反射率,同时最大程度地降低损耗。介质镜面膜由不同材质的薄膜交替层叠而成,一层折射率高,一层折射率低。我们的高反射介质膜适用于需要在特定波长下具有高反射率的应用,是镜面膜和其他镀膜应用的理想选择。
金属镜面膜:我们还提供由铝 (Al)、银 (Ag) 和金 (Au) 等材料制成的金属高反射膜,用于光学镜面。这些膜层提供保护型或增强型,以确保金属镜面膜的持久性能和更佳的反射率。金属镜面膜有时非常适合需要极宽带宽的超短脉冲激光器。铝镜镀膜和紫外线增强铝镀膜是紫外应用的经济高效的选择,银高反射镀膜适用于可见光至红外光谱范围,而金高反射镀膜则在近红外至红外波长范围内提供出色的反射率。
光学滤光镀膜:光学滤光镀膜是用于控制光光谱特性的光学镀膜。Shalom EO 提供丰富的光学滤光镀膜选择,包括带通滤光镀膜、长通/短通镀膜、陷波滤光镀膜和用于隔离所需光谱带的激光线滤光镀膜。
高功率和超快光学镀膜:Shalom EO 为高功率应用提供具有高激光诱导损伤阈值 (LIDT) 的光学镀膜。此外,我们还提供超快光学镀膜,包括超快增强银镀膜、低 GDD 介质镀膜和用于超快脉冲激光器的啁啾镜镀膜。
分光镜镀膜和二向色镀膜:分光镜镀膜和二向色镀膜能够灵活地将光分离成所需的比例。我们可以提供偏振和非偏振分光镜镀膜。我们提供高消光比和高功率激光级分光镜镀膜。
在Shalom EO,我们在1000级洁净室内镀膜车间采用先进的离子辅助电子束沉积 (IAD e-beam) 技术。光学镀膜的设计和制造是一个精细的过程,需要精心利用材料特性和微观结构。例如,在定制介电光学镀膜时,我们会使用建模软件优化薄膜层的厚度,以实现对相长干涉和相消干涉效应的精细控制。在镀膜工艺开始之前,所有基板都会在我们的清洁车间使用超声波清洗机进行清洁,以去除基板上的颗粒残留物。
我们的 IAD 电子束镀膜工艺将电子束蒸发靶材与离子辅助相结合,从而能够在较低温度下形成光学镀膜。同时,离子轰击可提高镀膜密度,降低在不同环境条件下发生光谱漂移的可能性。我们先进的 IAD 电子束镀膜机,例如 SHINCRON MIC-1350TBN,可确保每层镀膜均符合最高的性能、耐用性和精度标准。
Shalom EO 在整个镀膜过程中始终保持严格的质量控制标准。从过程控制到最终的光学检测,我们确保光学镀膜的规格符合要求。我们拥有先进的计量设备,包括:
PerkinElmer Lambda 1050+ 光谱仪、Ultrafast Innovations GOBI 白光干涉仪等仪器可实现精确测量。我们为客户提供关键技术参数和单独的测试报告,例如光学镀膜的透射曲线。
我们还与实验室合作,获取激光诱导损伤阈值 (LIDT) 的真实结果,以确保光学镀膜的抗损伤性能符合既定规格。您也可以点击此处查看我们资源板块的博客,了解有关激光诱导损伤阈值的信息。