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晶圆和基板

LN、LT、石英超薄膜和晶片

Shalom EO 的绝缘体薄膜晶圆由纳米级 LN(铌酸锂)、LT(钽酸锂)或石英薄膜与硅绝缘基板组合而成。这些薄膜晶圆应用领域广泛,可用作高速谐振器、表面声波 (SAW) 滤波器、电光调制器、集成纳米光子学等。与体基基板相比,薄膜晶圆在致密性、高性能、低成本以及创新设计潜力方面更具优势。

Shalom EO 提供各种绝缘体薄膜晶圆。规格包括 300-900nm 的 LiNbO3/LiTaO3 超薄膜、5-50um 的 LiNbO3/LiTaO3/石英薄膜以及独立的 LiTaO3 薄膜晶圆。 (注意:此处的300-900nm和5-50um指的是顶层功能层的厚度,不包括可选的隔离层、电极层和硅衬底的厚度。)

铌酸锂 (LiNbO3)是一种用途广泛且性能优异的材料,具有高非线性特性以及独特的电光、声光和压电特性。此外,近年来,薄膜铌酸锂或绝缘体上铌酸锂 (LNOI) 的发展为集成光子学领域带来了突破性的进展。 LNOI 具有插入损耗低、稳定性好等特点,用于制作高速电光调制器和高性能 SAW 滤波器效果极佳,适用于数据中心、长距离数据传输、手机、基站等应用环境。钽酸锂 (LiTao3) 具有优异的压电和热释电性能,LTOI 用于制作射频前端滤波器和热释电红外探测器。

可以根据您的要求定制各种尺寸和方向的晶圆和衬底。